เทคนิคการเคลือบฟิล์มน้ำยาไวแสงเพื่อลดของเสียจากกระบวนการลิโธกราฟฟี ในอุตสาหกรรมผลิตหัวอ่าน-เขียนข้อมูลของฮาร์ดดิสก์ไดร์ฟ

Lithography technique for defect reduction in read-write head process of hard disk drive industry.

Name: ลัดดาวัลย์ สุภาดี

ThaSH: ลิโธกราฟีย์.

ThaSH: กระบวนการเคลือบผิว.

ThaSH: ฟิล์มบาง.

ThaSH: วิศวกรรมไฟฟ้า -- วิทยานิพนธ์.

ThaSH: สถาบันเทคโนโลยีพระจอมเกล้าเจ้าคุณทหารลาดกระบัง. -- สาขาวิชาวิศวกรรมไฟฟ้า -- วิทยานิพนธ์.

Abstract: วิทยานิพนธ์ฉบับนี้นำเสนอการเคลือบน้ำยาไวแสงด้วยเทคนิคสเปรย์บนพื้นผิวสามมิติที่ใช้ในอุตสาหกรรมฮาร์ดดิสก์ไดร์ฟ ซึ่งพบปัญหาเมื่อใช้เทคนิคเดิมโดยการเคลือบแบบหมุน การวิเคราะห์หาเงื่อนไขที่ดีที่สุดสำหรับใช้ในการเคลือบพ่นเพื่อให้ได้ความหนาฟิล์มไวแสงบนบริเวณพื้นผิวเรียบเท่ากับเทคนิคเดิม แต่มีความสม่ำเสมอที่บริเวณพื้นผิวสามมิติที่ดีขึ้น จากการวิเคราะห์พบว่าปัจจัยหลักที่กระทบต่อความหนาแน่นและความสม่ำเสมอฟิล์มไวแสงมี 3 ปัจจัย คือ ความเร็วอัตราการเคลื่อนที่ของหัวพ่น ความดันแก๊สไนโตรเจน และระยะห่างระหว่างแนวการเคลื่อนที่ของหัวพ่น แต่อย่างไรก็ดีการสเปรย์ด้วยน้ำยาไวแสงที่มีค่าความหนืดต่ำที่โดยทั่วไปมีค่าน้อยกว่า 20 cSt จะพบปัญหาข้างเคียงจากการที่ละอองน้ำยาไวแสงบางส่วนแห้งก่อนตกลงบนพื้นผิวชิ้นงาน มีลักษณะคล้ายเศษฝุ่นขนาด 2-6 ไมโครเมตร ขัดขวางการฉายแสงในระหว่างขั้นตอนต่อไป จึงจำเป็นต้องกำจัดปัญหาโดยเลือกใช้อะชิโตนซึ่งเป็นตัวทำลายที่ใช้ในน้ำยาไวแสง AZ4999 อยู่แล้วมาช่วยให้เกิดการจัดตัวใหม่ของฟิล์มไวแสง พบว่าเพียง 45 วินาที เศษน้ำยาไวแสงที่แห้งจะละลายและกลับเป็นเนื้อเดียวกับชั้นฟิล์มไวแสง ความราบเรียบของพื้นผิวเดิมถูกปรับปรุงให้ดีขึ้นถึง 80% ด้วยค่าความหนาฟิล์มสุดท้ายเปลี่ยนแปลงเพียงเล็กน้อย นอกจากวิทยานิพนธ์ฉบับนี้จะทำการตรวจวิเคราะห์คุณภาพฟิล์มทางภายภาพต่างๆ ยังได้นำเสนอการตรวจวิเคราะห์ทางไฟฟ้าเคมีของฟิล์มไวแสงอีกด้วย โดยใช้หลักการวิเคราะห์เชิงอิมพีแดนซ์และโพลาไรเซชันตรวจหาความต้านทานการกัดกร่อนของฟิล์มไวแสงเพื่อป้องกันวัสดุแม่เหล็กอัลลอยด์ด้วย และพบว่าเมื่อมีฟิล์มไวแสงป้องกันอยู่อัตราการกัดกร่อนลดลงถึง 100 เท่า.

สถาบันเทคโนโลยีพระจอมเกล้าเจ้าคุณทหารลาดกระบัง. สำนักหอสมุดกลาง

Address: กรุงเทพมหานคร

Email: Lifelong@kmitl.ac.th

Name: วิสุทธิ์ ฐิติรุ่งเรือง

Role: อาจารย์ผู้ควบคุมวิทยานิพนธ์

Email : ktwisut@kmitl.ac.th

Created: 2556

Modified: 2558-08-10

Issued: 2558-08-10

วิทยานิพนธ์/Thesis

application/pdf

CallNumber: วพ. ล246ท 2556

tha

DegreeName: วิศวกรรมศาสตรดุษฎีบัณฑิต (วิศวกรรมไฟฟ้า)

Level: ปริญญาเอก

Descipline: วิศวกรรมไฟฟ้า

Grantor: สถาบันเทคโนโลยีพระจอมเกล้าเจ้าคุณทหารลาดกระบัง

©copyrights สถาบันเทคโนโลยีพระจอมเกล้าเจ้าคุณทหารลาดกระบัง

ลำดับที่.	ชื่อแฟ้มข้อมูล	ขนาดแฟ้มข้อมูล	จำนวนเข้าถึง	วัน-เวลาเข้าถึงล่าสุด
1	Fulltext Laddawan Supadee.pdf	19.05 MB	9	2019-06-20 01:12:14

ใช้เวลา

0.018857 วินาที